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这种涂布型CNT晶体管是由NEC、技术研究联盟单层CNT融合新材料研究开发机构(TASC)、东京大学合作开发。“工作性能足以应用于柔性显示器、传感膜的线控制电路”(NEC)。
NEC表示,主要的改善有两处。一是电极的形成使用“超级喷墨(SIJ)法*”,使电极宽度从过去的大约50μm大幅缩小到了2μm。从而减少了栅极与源极/漏极的重叠,使寄生电容降低到了1/10。工作频率则因此得到了大幅提升。
另一个改善之处,是大幅提高了利用电泳法分离溶液中金属型与半导体型CNT的技术的精度。NEC之前采用的方法能够将半导体型CNT的纯度提高到95%以上,但这种方法使用的CNT分散稳定剂会成为杂质残留,提高晶体管性能的进展不及预期。
这一次,通过把半导体型CNT的纯度提高到98%以上,分散稳定剂的残留量减少到了过去的1/50。大幅提升了晶体管半导体层的品质,输出电流方面,原本-0.6μA的电流增加到了-6.2μA,达到了过去的10倍。